tankenseal φ450mm兼容碳精吸盤介紹

發(fā)布日期：2025-05-09      瀏覽次數(shù)：35

φ450mm兼容

碳精密吸力機(jī)

注冊

 



 

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所有碳吸附杯的概述

●該真空吸附杯由碳材料組成，將多孔碳吸附劑與由高強(qiáng)度碳制成的結(jié)構(gòu)組合在一起。
●硅晶片，bg膠帶，模具固定膜和迪士膠帶通過多孔材料吸附。
●平均孔徑在5μm處良好，并且吸附標(biāo)記不轉(zhuǎn)移。
●中等節(jié)氣門效應(yīng)允許部分吸附。
●即使在惡劣的溫度環(huán)境下，它也不會變形或破裂。
●由于它具有出色的電氣性能，因此有效防止靜電。

這是一個多孔的吸附杯，它充分利用了這些碳的特征。

 

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所有碳吸杯的功能

●晶圓預(yù)防

碳是一個很棒的指揮。
因?yàn)槭召M(fèi)的可能性較小，所以工件被吸附時(shí)會扎根。
它是反對靜電的對策，非常有效，非常適合吸附不喜歡靜電的工件。
涂層（其他規(guī)格）使您可以將表面電阻調(diào)整為給定值。

材料	多孔碳	氧化鋁	鋁
電阻值（μω?M）	100	> 1x10 12	2.6 x 10 -2

 

●與高溫環(huán)境兼容

通過制造由碳制成的所有零件材料，我們大程度地提高了碳的優(yōu)秀熱性能。
耐熱溫度在大氣中為250°C，在惰性氣體中為900°C。
它具有較高的耐熱性，即使加熱或淬火也不會破裂。
因?yàn)樗怯上嗤牧现瞥傻?，所以由于熱膨脹差異而?dǎo)致的準(zhǔn)確性不太可能發(fā)生，并且尺寸穩(wěn)定性非常好。

 

●輕巧減輕了設(shè)備的負(fù)擔(dān)

多孔碳的低密度為1.2g/cm3。
與陶瓷吸杯相比，它可以減輕重量約40％。
通過減輕重量，它不僅可以在設(shè)備設(shè)計(jì)中提供更多的自由度，而且
還通過簡化組件為設(shè)備制造成本提供了更多好處。

材料	多孔碳	氧化鋁	鋁
通量密度（g/cm 3）	1.2	3.6	2.8

 

所有碳吸杯重量表

粘合表面尺寸（mm）	吸附杯厚度（mm）	重量（g）	圖像
φ200	12	750
φ300	12	1580
φ450	20	5660